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| オリンパスBX53赤外線顕微鏡を使用 | |||||
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| IR-1300RL | |||||
| 高解像度赤外線CMOSカメラとエンハンサソフトウェアにより貼り合わせウエハーの アライメントマークのずれを計測する。赤外線透過顕微鏡システムです。 |
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| ＩＲ-1300RLの特徴 |
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| ・赤外線カメラが400万画素になりました。 |
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| ・英語版も追加されました。Emglish version is available． | |||||
| ・フォーカスの合わせやすさが向上しました。 | |||||
| ・ＸＹステージの合わせやすさが向上しました。 | |||||
| ・赤外線クロスニコル機能を搭載して部分的なぎらつきを押さえた画像撮影が 可能になりました。 |
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| ・ＤＴエンハンサーソフトの追加機能により使いやすさが向上しました。 | |||||
| ・エンハンサーソフトにアライメントずれ計測機能を搭載し簡単に高精度な計測が 可能となります。 |
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| リアルタイムエフェクトソフトウェア | |||||
| コントラストの低い画像や、ノイズの多い画面をリアルタイムエフェクトソフト により画像の処理をして、明るい鮮明な見やすい画像にします。 |
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| 搭載機能概略 | |||||
| 〜1.画像取込〜 | |||||
| ・8bitモノクロ画像の取り込み | |||||
| ・フルスクリーン表示 ・ズーム表示(倍率1〜5程度) | |||||
| 〜3.エフェクト処理〜 | |||||
| ・輝度レンジのリアルタイムエフェクト ・積算処理(ノイズ除去） | |||||
| 〜4.寸法計測〜 | |||||
| ・スケール表示 ・面積計算 ・２点間計測 ・垂線長 ・角度計測 ・円計測 ・線幅計測 ・周囲長計測 |
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| 〜5.図形描画〜 | |||||
| ・丸、四角、矢印、テキスト描画 | |||||
| 〜6.ファイル管理〜 | |||||
| ・ＢＭＰファイル保存/読み込み ・ONEクリックセーブ機能 | |||||
| ・2種類の保存(元画像、追加画像) | |||||
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| 付属ソフトウエアによるアライメントマークのずれ計測例 | |||||
| 対象材料 | |||||
| Ｓｉ （材料の組合せ、厚み等の条件により見えない場合があります。） | |||||
| 対応カメラ | |||||
| 赤外線ＣMOSカメラ400万画素（標準） | |||||
| InGaAsカメラ（オプション） | |||||
| その他カメラにも対応可能です。(お問い合わせください) |
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| 用途 | |||||
| アライメントマークのずれ計測 | |||||
| 基本仕様 | |||||
| ・対物レンズ 5ｘ、10ｘ、20ｘ、50ｘ、(100ｘ：オプション） ・カメラ 赤外線ＣMOSカメラ400万画素 ・照明 透過、反射（ハロゲンランプ） ・ノートパソコン ・ＸＹステージ手動 ・ソフトウェア 画像改善ソフトDTエンハンサー付き |
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| オプション | |||||
| オートフォーカスユニット 電動X,Yステージ 2カメラ異焦点ユニット 自動計測ソフトウエア OK,NG判断機能 |
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| 注意事項 | |||||
| 赤外線専用設計のレンズを使用しています。 エンハンスソフトを使用することにより明るく見やすい画像になります。 |
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