超高速分光器　　DTSP-150

色計測、薄膜計測
裏面入射型ペルチェ冷却FFT-CCD使用
色計測例
分光器本体	装置構成図

分光器の原理
分光器とは、光を虹(波長ごとの光)に分けて波長ごとの光の強さを測定するものです。 薄膜などに光をあて、その反射光を分光することによって薄膜成分を計測します。
特徴
	・読出し信号10electoronicsと微小な光に反応します。
	・電子冷却FFT−CCDを使用しているため、ローノイズでコンパクトです。
	・超高感度であるため、オンライン測定などの高速計測が可能です。
	・色計測ソフトウェア、膜厚解析ソフトウェアを用意しています。
	・分光ユニットを使用したハード、ソフト、機構部のトータルシステムに対応します。
	・インターフェースはUSBタイプ、E-therタイプ、SCSIタイプがあります。
	・LED発光用外部出力端子が付いています。

型式 DIT-150VIS (E) DIT-150UV DIT-150NIR 測定波長域(nm) 光検出素子 受光素子チャンネル数 受光面素子サイズ 素子冷却温度(℃) 読出しノイズ 暗電流 AD分解能 光学配置 分光器F値 検出器露光時間 入射スリット幅(μm) 逆線分散(nm/Ch) 分解能(nm) 波長精度(nm) 検出器露光時間 入射方式 インターフェース 電源 形状 300-800 裏面入射型FFT-CCD　　冷却タイプ 1024 24.576mm x 1.392mm -5 10electrons 75electrons/scan(-5°20msec) 14bit（16bit） Czemy-tuner Mount 4 20msec〜10sec 25 0.5 1.5 1.5 5msec〜10sec 光ライトガイドファイバ(1.5m) USB　or 100base AC100-240V ±10％　50-60Hｚ 140W 240H 250D　350ケーブル含 250-500 〃 〃 〃 〃 〃 〃 〃 〃 〃 〃 〃 0.25 0.8 ±0.2 〃 〃 〃 〃 〃 500-1000 〃 〃 〃 〃 〃 〃 〃 〃 〃 〃 〃 0.5 1.5 ±0.3 〃 〃 〃 〃 〃

膜厚測定例

応用例
	各種ディスク上の 膜厚の厚み管理	半導体用ウェハ上の レジスト膜、SiO	光学レンズの コーティング膜厚管理

	各種フィルムの膜厚測定	ガラス基板上の配向膜、 ITO膜のインライン計測	LEDの色計測

＊インライン用多チャンネルシステムも構築実績あります。

		インラインタイプ
	装置構成写真（オフラインタイプ）