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IR-1300 |
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赤外線を利用してシリコンチップの裏面から微細ヴィアやトレンチ観察できます。
高解像赤外カメラを使用し、リアルタイム処理ソフトにより鮮明で見やすい画像を表示します。
装置のレンタル承ります。詳しくはお問い合わせ下さい。
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ＩＲ-1300の特徴
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・対物レンズが100倍まで撮影が可能になりました。 |
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・顕微鏡ユニットをグレードアップしたことによりフォーカスの合わせやすさが向上しました。 |
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・ＸＹステージの合わせやすさが向上しました。 |
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・130万画素カメラにより高精度な画像撮影が可能になりました。 |
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・ＤＴエンハンサーソフトの追加機能により使いやすさが向上しました。 |
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リアルタイムエフェクトソフトウェア |
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コントラストの低い画像や、ノイズの多い画面をリアルタイムエフェクトソフト
により画像の処理をして、明るい鮮明な見やすい画像にします。 |
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搭載機能概略 |
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〜1.画像取込〜 |
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・8bitモノクロ/24bitカラー画像の取り込み |
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〜2.画像表示〜 |
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・フルスクリーン表示 ・ズーム表示(倍率1〜5程度) |
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〜3.エフェクト処理〜 |
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・輝度レンジのリアルタイムエフェクト ・積算処理(ノイズ除去） |
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〜4.寸法計測〜 |
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・スケール表示 ・面積計算 ・寸法計測 |
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〜5.図形描画〜 |
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・丸、四角、矢印、テキスト描画 |
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〜6.ファイル管理〜 |
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・ＢＭＰファイル保存/読み込み ・ONEクリックセーブ機能 |
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・2種類の保存(元画像、追加画像) |
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装置構成ブロック図 |
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対象材料 |
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Ｓｉ、GaAs、 （材料の組合せ、厚み等の条件により見えない場合があります。） |
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対応カメラ |
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赤外線ＣMOSカメラ130万画素 |
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用途 |
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MEMSやTSVの微細穴、ボイドの状態、シリコンチップの内部観察 |
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基本仕様 |
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・対物レンズ 5ｘ、10ｘ、20ｘ、50ｘ、100ｘ ・カメラ 赤外線ＣMOSカメラ130万画素
・照明 透過、反射（ハロゲンランプ） ・ノートパソコン ・ＸＹステージ
・ソフトウェア 画像改善ソフトDTエンハンサー付き |
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注意事項 |
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光学系は赤外線専用設計ではありませんが、取り込んだ画像をソフトウェア処理することにより鮮明な観察画像を実現しています。詳細はお問い合わせ下さい。 |
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エフェクト処理後の画像例 |
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生画像 |
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リアルタイムエフェクト処理後の画面 |
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