| |
|
IR-750 透過照明無しタイプ |
|
|
|
|
|
赤外線を利用してシリコンチップの裏面からパターンを鮮明に観察できます。
赤外線顕微鏡のレンタル承ります。詳しくはお問い合わせ下さい。
|
|
|
|
|
| |
 |
|
 |
|
|
ＩＲ-750 |
|
顕微鏡ステージ調整機構(手動) |
|
|
|
|
|
リアルタイムエフェクトソフトウェア |
|
|
コントラストの低い画像や、ノイズの多い画面をリアルタイムエフェクトソフト
により画像の処理をして、明るい鮮明な見やすい画像にします。 |
|
|
|
|
|
搭載機能概略 |
|
|
〜1.画像取込〜 |
|
|
・8bitモノクロ |
|
|
|
|
|
〜2.画像表示〜 |
|
|
・フルスクリーン表示 ・デジタルズーム(25〜400％) |
|
|
|
|
|
〜3.エフェクト処理〜 |
|
|
・コントラスト強調（自動・手動） ・画像積算処理（2〜128回） |
|
|
|
|
|
〜4.寸法計測〜 |
|
|
スケール表示 ２点間計測 面積計算 貼りあわせウエハーのアライメントマークずれ計測 |
|
|
|
|
|
〜5.図形描画〜 |
|
|
・丸、四角、矢印、テキスト描画 |
|
|
|
|
|
〜6.ファイル管理〜 |
|
|
・bmp又はjpgファイル保存/読み込み |
|
|
|
|
|
 |
|
|
リアルタイムエフェクトソフトの画面例 |
|
|
|
|
|
|
|
|
対象材料 |
|
|
Ｓｉ(透過範囲：1.1μm) 材料の組合せ、厚み等の条件により見えない場合があります。 |
|
|
|
|
|
対応カメラ |
|
|
赤外線ＣＣＤカメラ1.3Mピクセル(波長帯域 可視から1100nm 30fps) |
|
|
|
|
|
用途 |
|
|
フィリップチップの配線検査 ボイドの検査 ダイボンディングの検査 |
|
|
貼り合わせウエハーのアライメントマークずれ計測 |
|
|
基本仕様 |
|
|
・対物レンズ 5ｘ10ｘ20ｘ（40ｘオプション） ・カメラ 対象ワークにより選択
・照明 ハロゲンランプ100Ｗ ・モニター：ノートパソコン ・ＸＹステージ(透過照明無)
・ソフトウェア リアルタイムエフェクトソフトウェア |
|
|
|
|
|
注意事項 |
|
|
レンズ、ミラー等の光学系は赤外線専用設計ではありませんが、取り込んだ画像をソフトウェア処理することにより鮮明な観察画像を実現しています。詳細はお問い合わせ下さい。 |
|
|
|
|
|
エフェクト処理後の画像例 |
|
|
 |
→ |
 |
|
|
画像(ボンディングパッド部) |
|
リアルタイムエフェクト処理後の画面 |
|
|
|
|
