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〜ウエハ識別用IDナンバー読取システム〜 |
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2次元IDコード読取機能、OCR機能(IDナンバー読取)、バー・コード読取機能 | ||
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・ScribeReadシステムは、特に半導体製造プロセスで使用されるウエハ上のIDナンバーの読取を目的 として開発されたソフトウェア・パッケージです。 ・ウェハ・ソーターやプローバー、光学検査装置等、ウェハの自動認識が必要となるプロセス装置におい て、高スループット化や厳密なプロセス管理を可能とさせます。 ・Windows NTベースのPC上で簡単に使用でき、非常に高速で安定したIDナンバー認識能力を誇りま す。 ・またバーコードや2次元データコード等に対しても、高い読取性能をご提供します。 ・さらに、IDナンバーの各種フォントにも対応しております。 ・また、ScribeViewイルミネーターとの併用で、CMPウエハ、ソフトまたはハード・マーキングの認識も 可能となり、今日の半導体業界の中でも最高のリード・レートをご提供いたします。 |
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半導体製造プロセスへのアプリケーション例 | ||
・ソーター、ハンドラー、イオン・インプラ装置、クラスターツール、プローバー、フォト・リソ装置、 エッチャー装置、各種検査装置 |
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システム構成 | ||
・Active x Scribe Read コントロール・ソフトウェア、フレーム・グラバー・カード及びケーブル、 Scribe Viewイルミネター |
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特徴 | ||
・高速データ処理を可能とするMMXテクノロジーを使用した高速画像認識技術を提供します。 | ||
・放射状(Arc)IDナンバーも認識可能です。 | ||
・ID読取の各パラメータ設定は、セット・アップ・ウィザードの採用により、オペレーターの操作や調整を 簡易化でき、歩留まりや生産性の向上に寄与します。 |
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・セットアップは、オペレーターの要望に合わせてオートまたはマニュアルの操作モードを選択できま す。 |
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・ScribeReadのソフトウェアは機能別にコンポーネント化されており、そのソフトウェア・コンポーネンツ は、Microsoft社のVisual BasicやC++などの工業標準となっている開発ツールを使用して、ユーザー のソフトウェアに簡単に導入することができます。 |
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・ISA、PCI、PC-104+、コンパクトPCI、VME等各プラット・ホーム仕様に対応します。 | ||
・Windows NTを用いた工業標準MFC(Microsoft Foundation Class)を使用しています。 | ||
・SEMI規格の規定するT7-0997やT2-0298等の2Dマトリックス・コードに対応しています。 | ||